定制壓電納米運動平臺
P63系列壓電納米運動平臺為芯明天標準產品之一，它的標稱行程范圍為5.5μm/軸，一至三維運動自由度可選。
P63.XYZ-D1是基于P63系列進行內部結構及外觀尺寸的微調整，將XY向的標稱位移增大到了16μm，以滿足使用者對XY向更大運動范圍的要求，既在成本上得到了很好的控制，又滿足了用戶使用的需求。
微調后的P63.XYZ-D1依然保持小體積的特點，尺寸僅L40×W40×H42mm，易于集成。XY軸標稱行程為16μm，Z軸標稱行程為6μm。
P63.XYZ-D1閉環階躍時間圖（帶載）
P63.XYZ-D1壓電運動平臺，在帶載100g負載的情況下，滿行程階躍時間約9ms。
P63.XYZ-D1技術參數
型號：P63.XYZS-D1
運動自由度：XYZ
標稱行程范圍（0~120V）：XY 16μm，Z 6μm
行程范圍（0~150V）：XY 18μm，Z 8μm
傳感器類型：SGS
閉環分辨率：0.6nm
開環分辨率：XY0.2/Z0.1nm
閉環線性度：XY0.3%F.S. , Z1%F.S.
閉環重復度：0.5%F.S.
俯仰/偏航/滾動：≤15μrad
空載諧振頻率：XY2/Z1kHz
閉/開環空載階躍時間：8/0.5ms
承載能力：0.5kg
靜電容量：X、Y 1.8μF/ Z 0.8μF
Z軸閉環電壓與位移曲線
注：實際施加到壓電平臺的電壓為輸入控制電壓的12倍。
XY軸開環電壓與位移曲線
注：實際施加到壓電平臺的電壓為輸入控制電壓的12倍。
位移測量
利用電容測微儀測量各軸運動行程。
