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芯明天壓電物鏡定位器以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源，帶載物鏡做納米級(jí)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，機(jī)構(gòu)采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，物鏡補(bǔ)償量小，具有良好聚焦穩(wěn)定性。芯明天壓電物鏡定位器在結(jié)構(gòu)上可分為三種類(lèi)型結(jié)構(gòu)：高動(dòng)態(tài)型、大行程型及大負(fù)載型。

高動(dòng)態(tài)壓電物鏡定位器

該系列壓電物鏡定位器采用的平行四邊形設(shè)計(jì)原理，高剛度，可帶200g負(fù)載高速運(yùn)動(dòng)。

大行程壓電物鏡定位器

該系列產(chǎn)品是大行程、高速、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的聚焦顯微掃描裝置，產(chǎn)品體積小巧，位移行程可達(dá)500μm。

大負(fù)載壓電物鏡定位器

大負(fù)載壓電物鏡定位器具有承載力大、響應(yīng)速度快、Z軸運(yùn)動(dòng)直線(xiàn)性好等特點(diǎn)，可帶500g負(fù)載高速運(yùn)動(dòng)。

應(yīng)用領(lǐng)域 

光學(xué)顯微成像：

顯微光學(xué)成像，是指透過(guò)樣品或從樣品反射回來(lái)的可見(jiàn)光，通過(guò)一個(gè)或多個(gè)透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)。壓電物鏡定位器可帶動(dòng)物鏡頭做Z向精密高速運(yùn)動(dòng)，可使觀(guān)測(cè)精度達(dá)納米級(jí)。

白光干涉：

白光干涉技術(shù)以可見(jiàn)光為光源，光源發(fā)出的白光通過(guò)干涉物鏡后在半透射光學(xué)平面反射一半光強(qiáng)，另一半光強(qiáng)透射后照射在量測(cè)物表面并反射再次進(jìn)入干涉物鏡，與原光學(xué)平面的反射光產(chǎn)生干涉。搭配芯明天P73系列壓電物鏡定位器，準(zhǔn)確性高可達(dá)納米解析度，垂直掃描高度可達(dá)500μm。

晶圓切割：

激光經(jīng)過(guò)透鏡聚焦，再通過(guò)壓電物鏡定位器調(diào)整焦點(diǎn)的位置，使焦點(diǎn)準(zhǔn)確的定位在晶圓待切割部位，被切割部位溫度升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，在切割材料上形成切縫從而達(dá)到切割的目的。