P12壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動、1~3維并聯式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿足顯微等應用。壓 電掃描臺可以實現單軸320μm的位移行程，一體式結構使得多維運動無耦合、多種規格型號可選，以滿足不同應用的需求。 P12壓電掃描臺典型應用 • 掃描干涉 • 共焦顯微 • 晶圓定位 • 表面測量 • 圖像處理與穩定 • 光學捕獲 P12壓電掃描臺特性 • zui大位移320μm • zui大承載0.8kg • 臺體中心通孔 • 閉環重復定位精度高 1~3維掃描臺 P12系列壓電納米定位臺為1~3維直線壓電掃描臺，包 括X、Z、XY、XZ、XYZ等多種規格型號，通孔直徑25mm 或35mm可選。 小體積、大位移、中心通孔 P12系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理，超小的體 積外形，尺寸僅為60×60×24mm，可以實現zui大320μm 的掃描范圍，中心通孔可選25mm或35mm，35mm通孔 對應臺體外形尺寸為70×70×24mm。 臺體采用FEA有限元分析優化設計，具有零摩擦、超高 導向精度、納米級分辨率等優點。 P12系列壓電掃描臺內置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷， 確保了掃描臺的可靠性與穩定性。  P12.Z300閉環穩定時間圖
P12系列壓電掃描臺具有優異的階躍穩定性，下圖為P12.Z300zui 大位移320μm閉環穩定時間圖。 P12壓電掃描臺技術參數： 型號 | 尾綴S-閉環 尾綴K-開環 | P12.X100S P12.X100K | P12.Z100S P12.Z100K | P12.Z200S P12.Z200K | P12.Z300S P12.Z300K | P12.XY100S P12.XY100K | P12.XYZ100S P12.XYZ100K | 單位 | 運動自由度 | X | Z | Z | Z | X、Y | X、Y、Z | | 標稱行程范圍(0~120V) | 80 | 80 | 160 | 240 | 80/軸 | 80/軸 | μm±20% | zui大行程范圍(-20~150V) | 110 | 110 | 210 | 320 | 110/軸 | 110/軸 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 通孔尺寸 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | mm | 閉/開環分辨率 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 11/5 | 7/4 | 7/4 | nm | 閉環線性度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | 0.4/- | 0.05/- | 0.15/- | %F.S. | 閉環重復定位精度 | 0.01/- | 0.01/- | 0.03/- | 0.15/- | 0.03/- | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <10 | <10 | <15 | <15 | <10 | <15 | µrad | 推/拉力 | 30/10 | 30/10 | 30/10 | 30/10 | 25/8 | 20/4 | N | 運動方向剛度 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.1 | X0.25/Y0.3 | X0.3/Y0.25/Z0.2 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 230 | 220 | 150 | 100 | X180/Y230 | X230/Y180/Z150 | Hz±20% | 閉/開環空載階躍時間 | 10/0.8 | 10/0.8 | 15/1.6 | 30/2.4 | 15/0.8 | 30/0.8 | ms±20% | 閉環空載 工作頻率 | 10%行程 | 100 | 100 | 50 | 30 | 100 | 50 | Hz±20% | 行程 | 9 | 10 | 5 | 3 | 9 | 5 | zui大承載 | 0.8 | 0.8 | 0.5 | 0.4 | 0.7 | 0.6 | kg | 靜電容量 | 1.8 | 1.8 | 3.6 | 5.4 | 1.8/軸 | 1.8/軸 | μF±20% | 材質 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | | 重量 | 140 | 140 | 200 | 260 | 200 | 260 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。 |
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