P35A.T35系列大行程壓電偏轉(zhuǎn)鏡
P35A.T35系列是一款兼具大行程、高精度、高頻率特點的二維運動壓電偏轉(zhuǎn)鏡。它可產(chǎn)生θx、θy二維偏轉(zhuǎn)，偏轉(zhuǎn)角度達±18.5mrad，空載諧振頻率達2kHz，可配置閉環(huán)傳感器，閉環(huán)重復定位精度可達0.025%F.S.。外觀采用方形的設(shè)計，在物理上實現(xiàn)空間的最l大化利用便于集成，非常適合高精度大行程角度的快速偏轉(zhuǎn)應(yīng)用。產(chǎn)品外觀如下圖所示。
產(chǎn)品特點
二維θx、θy偏轉(zhuǎn)
偏轉(zhuǎn)角度達±18.5mrad
空載諧振頻率2kHz
可定制
可選配閉環(huán)傳感器
產(chǎn)品應(yīng)用
P35A.T35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡可廣泛應(yīng)用于圖像處理/穩(wěn)定、隔行掃描/抖動、光過濾/開關(guān)、激光掃描、光束偏轉(zhuǎn)與穩(wěn)定、掃描顯微等光學應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù)
| 型號 | P35A.T35S/K |
| 運動自由度 | θx、θy |
| 驅(qū)動控制 | 3路驅(qū)動，2路傳感 |
| 標稱偏轉(zhuǎn)角度（0~120V） | ±14.8mrad/軸 |
| 偏轉(zhuǎn)角度（0~150V） | ±18.5mrad/軸 |
| 傳感器類型 | SGS/- |
| 閉/開環(huán)分辨率 | 1.2μrad/0.4μrad |
| 線性度 | 0.13%F.S./- |
| 重復定位精度 | θx0.05%F.S., θy0.025%F.S./- |
| 空載諧振頻率 | 2000Hz |
| 帶載諧振頻率 | 1800Hz（負載Φ12.7×3mm鏡片） 1100Hz（負載Φ24.5×3mm鏡片） |
| 閉環(huán)階躍時間 | 7ms@Φ12.7×3mm鏡片 8ms@Φ24.5×3mm鏡片 |
| 靜電容量 | 7.2μF/軸 |
| 材質(zhì) | 鈦合金、鋁 |
| 重量 | 155g |
配套控制器
E80.D3S-P多通道壓電控制器非常適用于驅(qū)動P35A.T35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡，采用模擬和數(shù)字控制，具有3個輸出通道，其中1通道輸出恒壓，非常適于差分驅(qū)動。此外，該控制器配備有傳感信號監(jiān)測部分，可反饋體現(xiàn)壓電偏轉(zhuǎn)鏡偏轉(zhuǎn)角度的電壓信號，實現(xiàn)對偏轉(zhuǎn)鏡的高精確度控制。控制器可滿足電磁兼容試驗（CS101、CS114、CS115、CS116、RE102、RS103）、力學沖擊試驗（重力加速度20g）、22.6kPa低氣壓試驗（絕對值）等諸多嚴格的環(huán)境試驗。
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