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P60.Z1000系列壓電納米定位臺是一款具有大行程特點的一維Z向運動壓電平臺。它的內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動，配合無摩擦柔性鉸鏈機構，利用機構放大的驅動形式，實現大行程精密定位運動，行程可高達1mm。它的負載可達1.5kg，在行程大的同時兼具了大負載的特點。該產品可選配高精度傳感器進行閉環精密定位控制。可廣泛應用于光學、半導體、航空航天、生物醫療等領域。產品外觀如下圖所示。

產品特點

Z向位移1000μm

承載1.5kg

毫秒級響應時間

閉環重復定位精度高

可選閉環傳感器

真空版本可選

產品應用

光學測量

光學檢測

顯微掃描

激光干涉

生物科技

納米操控技術

納米光刻

納米測量

技術參數

型號		P60.Z1000S/K-C
運動方向		Z
驅動控制		1路傳感/1路驅動
標稱行程范圍（0~120V）		800µm
Max.行程范圍（0~150V）		1000µm
傳感器類型		SGS/-
分辨率		35nm/10nm
閉環重復定位精度		0.1%F.S./-
空載諧振頻率		80Hz
承載能力	水平安裝	1.5kg
	立式安裝	0.02kg
	倒置安裝	0.05kg
靜電容量		72μF
材質		鈦、鋁
重量		＜1.3kg

配套控制器

E53.D系列壓電控制器非常適用于驅動P60.Z1000系列壓電納米定位臺。E53.D系列是針對小體積應用要求而設計的單通道控制器，體積小巧，外形尺寸僅為148×27.5×80mm^3，重量為350g，供電電壓24VDC/1A。機身帶有散熱區域，可迅速導出產生的熱量，上位機軟件支持二次開發，體積小巧，易于集成。

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