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本次給大家介紹一款電動壓電螺釘調平臺——ZT50N81K8，它是專為三軸調平而設計，具有三個直線促動點，通過二維θx、θy 偏轉和 Z 向升降運動可對載物臺進行調節，其主要的特點就是定位精度高，承載能力強，電動操作更便捷，因其高精度、可控性強、實用性高，因而廣泛應用于科研、激光應用、工業自動化等領域。

ZT50N81K8壓電螺釘調平臺臺面直徑160mm，直線行程可達3mm，θx、θy 偏轉角度為±1.5°，角分辨率可達0.3μrad，承載可達2kg，具有出色的長期穩定性，且能在斷電情況下繼續保持在設定位置，斷電自鎖。實物外觀如下圖所示。

產品特點

• 三維偏轉運動

• 亞微弧度角分辨率

• 斷電自鎖

• 電動操作更靈活

產品應用

• 科學研究

• 光學

• 實驗室系統結構搭建

• 三軸調平

• 晶圓調平

• 工業應用

技術參數

型號	ZT50N81K8
臺面直徑	160mm
運動自由度	θx、θy、Z
電動軸	3個
角度范圍	±1.5°
直線行程	3mm
直線運動方向	Z
角分辨率	0.3μrad
承載能力	2kg
促動器	壓電螺釘促動器
工作溫度	10~40℃
重量	1800g
壓電螺釘連接器	RJ11

半導體領域調平

ZT50N81K8壓電螺釘調平臺以其高精度、大行程及多維運動，使其非常適用于半導體領域的調平，例如晶圓調平等。

配套控制器

芯明天E53.C4K壓電控制器可用于驅動ZT50N81K8壓電螺釘調平臺，采用24VDC供電，4通道版本可使用切換方式驅動4支壓電螺釘，采用數字信號控制，與壓電螺釘間可通過網口連接，且體積小、易集成。

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楊先生