壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)以其旋轉(zhuǎn)角度大、精度高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，成為電子器件無損檢測中的核心器件。現(xiàn)如今，半導(dǎo)體器件、印刷電路板等電子器件在很多領(lǐng)域都得到廣泛應(yīng)用，這些電子器件的性能直接影響整個(gè)系統(tǒng)的性能，它們的可靠性起到了很重要的作用。隨著電路板上元器件密度的日益增大，器件間的連接點(diǎn)只有微米級，常規(guī)的檢測手段受到了極大的限制，因?yàn)樾枰雀叩臏y試方法。
常見的檢測儀器是光學(xué)微掃描顯微成像系統(tǒng)，以其檢測速度快、精度高等特點(diǎn)受到廣泛關(guān)注。其原理是在系統(tǒng)中加入高精度壓電旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，使顯微熱圖像在四個(gè)依次相差90°的傾斜角條件下采集采樣圖像，形成微掃描模式，顯微成像處理系統(tǒng)通過與獲取微掃描圖像相同的方式交叉融合形成采樣圖像。
除了光學(xué)微掃描顯微成像系統(tǒng)還有壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)，壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，臺(tái)體采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，無摩擦、無回差，可以實(shí)現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi)置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實(shí)現(xiàn)微弧度的定位精度，在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。
芯明天一維θz向壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)，產(chǎn)品體積小巧，最大旋轉(zhuǎn)角度7.5mrad，承載能力達(dá)0.1kg，可帶動(dòng)鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。是通過壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)進(jìn)行精密角度調(diào)整，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保了產(chǎn)品具有良好的偏轉(zhuǎn)精度和超高的穩(wěn)定性且響應(yīng)速度快，是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整。
