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P66A.X30小體積X向運動壓電平臺

更新時間: 2021-07-05

P66A.X30為一維X向運動壓電平臺,平臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構,一體化結構設計。機構采用放大式驅動原理,內置高性能壓電陶瓷,可實現38μm范圍內的納米級位置調整。采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有高導向精度、高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。平臺具有非常高的控制精度,分辨率和穩定性可達納米量級,定位穩定時間為毫秒量級。

特性

• 一維X向運動

• 行程達38μm

• 承載力達100g

• 可選閉環版本、真空版本

 

典型應用

• 納米級精密位置調整

 掃描顯微

 微操作

 納米定位/測量

 微加工

 

高動態 

P66A.X30為小體積高精度運動平臺,特別為高分辨率、高動態、高定位精度應用而設計,內置高可靠性壓電陶瓷,實現納米級精度調整,特殊的結構設計使其具有非常大的剛度,空載諧振頻率達2000Hz,滿足工業上對高頻率、高精度等應用的需求。

 

技術參數

型號P66A.X30

運動自由度X

標稱行程范圍(0~120V)30μm

行程范圍(0~150V)38μm

閉環傳感器類型SGS

/開環分辨率10/5nm

閉環線性度0.1%F.S.

閉環重復定位精度0.1%F.S.

/拉力200/10 N

運動方向剛度10N/μm

空載諧振頻率2000Hz

/開環空載階躍時間5/1.5ms

承載能力100g

靜電容量3.6μF

臺體材料

電纜長度1.5m

 

推薦控制器

P66A.X30壓電納米定位臺一維X向運動機構,可配套芯明天單通道壓電控制器,實現精密運動控制。

E01.D1

LCD,薄膜按鍵, 可達625mA

RS-232/RS-422/USB通信

軟件可二次開發

 

E53.D

小體積,60mA

RS-232/RS-422/USB通信

軟件可二次開發

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