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微納操作系統中的微動壓電鉗

更新時間: 2020-08-22

作為微納操作系統中的一個末端執行機構,微動夾鉗主要完成微小尺寸樣品的夾取、搬運、放置與釋放。壓電鉗通過傳動機構,將電壓轉化為鉗口的位移輸出,通過鉗口閉合實現微操作對象的夾持,張開實現微操作對象的釋放。

芯明天研發生產的微動壓電鉗是由壓電陶瓷疊堆驅動,采用柔性鉸鏈機械放大結構,具有分辨率高、響應速度快、無摩擦等特點。夾持位移可達100微米,是微納操作系統中*的執行器件。

特點

• 夾持位移達100μm

 亞毫秒級響應時間

 諧振頻率達1.5kHz

技術參數

型號XD002-D2

運動自由度X

行程范圍(0~120V)80μm

行程范圍(0~150V)100μm

推/拉力10/1N

運動方向剛度0.04N/μm

空載諧振頻率1500Hz

空載階躍時間0.7ms

空載滿行程工作頻率300Hz

大承載0.05kg

靜電容量0.18μF

材質不銹鋼

重量10g

驅動控制

E53.A壓電控制器非常適合驅動XD-002系列微動壓電鉗,即可保證快速的響應時間,又可保證壓電的工作穩定性。同時E53系列壓電控制器的外形非常緊湊,體積小巧,易于集成。

定制版壓電鉗

夾持行程500μm@150V

靜電容量1.6μF

空載諧振頻率:180Hz

材質:鈦合金

夾持行程1000μm@150V

靜電容量3.4μF

空載諧振頻率110Hz

材質鈦合金

夾持行程1000μm@150V

靜電容量3.6μF

空載諧振頻率90Hz

重復定位精度0.5%F.S.

位移傳感器

材質鈦合金

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