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顯微鏡中的探針校準通常需要一個中心通孔（用于光線通過）。 P15系列三維壓電掃描臺具有66×66mm的自由中心孔，非常適合透射光等此類相關應用。運動行程為300μm/軸，具有較高的直線度，平臺內部采用有限元分析（FEA）優化的線切割撓曲鉸鏈結構，使其具有更高的剛度和直線度。可選擇集成的閉環反饋傳感器保證納米精度的長期高精度樣品調整。

P15系列壓電掃描臺還可以輕松與其他機械定位系統結合使用。它們適合從光學研究到OEM系統的各種應用。

特點

•XYZ三維直線運動

•通孔尺寸66×66mm

•設計緊湊

•固態鉸鏈確保高可靠性

•納米級/亞納米級高分辨率

•行程范圍300μm/軸

•可選配閉環傳感器

階躍時間

閉環上升曲線，滿行程階躍時間60ms。

技術參數

型號：P15.XYZ300

運動自由度：XYZ

行程范圍（0~120V）：240μm/軸

行程范圍（0~150V）：300μm/軸

閉環傳感器：SGS

通孔尺寸：66×66mm

閉/開環分辨率：13/6 nm

閉環線性度：0.2%F.S.

閉環重復定位精度：0.1%F.S.

俯仰/偏航/滾動：<30μrad

推/拉力：50/10N

運動方向剛度：0.1N/μm

空載諧振頻率（X/Y/Z）：450/550/120Hz

閉/開環空載階躍時間：60/10ms

承載能力：0.5kg

靜電容量：10.8μF/軸

材質：鋁

重量：900g

線長：1.5m

應用案例：