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什么是六自由度壓電納米定位臺(tái)？

六自由度壓電納米定位臺(tái)可產(chǎn)生X、Y、Z三軸直線運(yùn)動(dòng)以及θx、θy、θz 三軸偏轉(zhuǎn)/旋轉(zhuǎn)角度運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)。運(yùn)動(dòng)如下圖所示。
（注：θx運(yùn)動(dòng)即為以X軸為中心軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。）

六自由度壓電定位臺(tái)應(yīng)用舉例 - 光纖對(duì)接調(diào)整

光纖裸纖一般分為三層，中心高折射率真玻璃芯、中間為低折射率真硅玻璃包層、外層為加強(qiáng)用的樹脂涂層。入射到光纖端面的光并不能全部被光纖所傳輸，只有在某個(gè)角度范圍內(nèi)的入射光才會(huì)被傳輸。這個(gè)角度被稱為數(shù)值孔徑，越大對(duì)光纖的傳輸越有利。

光纖中傳輸光的中心部分和中間部分的直徑一般為幾十微米或百微米左右，因此在光纖的對(duì)接上，就需要達(dá)納米級(jí)的高精度六軸調(diào)節(jié)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，以保證光纖對(duì)接的精度。光纖對(duì)接錯(cuò)位，會(huì)導(dǎo)致光傳輸受阻或端面局部受熱等問題。

芯明天六自由度壓電納米定位臺(tái)

芯明天六自由度壓電納米定位臺(tái)XD801-D1是一款小體積六軸運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，它的角度運(yùn)動(dòng)精度達(dá)0.1μrad，直線運(yùn)動(dòng)精度達(dá)0.2nm，非常適于進(jìn)行納米甚至亞納米高精度定位調(diào)節(jié)，如六軸的光纖對(duì)接。

XD801-D1六自由度定位系統(tǒng)

（左圖：E51.D7S壓電控制器，右圖：XD801-D1）

如上圖所示，E51.D7S壓電控制器是于驅(qū)動(dòng)XD801-D1六自由度壓電定位臺(tái)，兩者構(gòu)成一套高精度六軸壓電納米定位系統(tǒng)。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：XD801.S-D1（閉環(huán)）、XD801.K-D1（開環(huán)）

運(yùn)動(dòng)自由度：X、Y、Z、θx、θy、θz

XYZ 行程范圍：6 µm@150V

θxθyθz軸偏轉(zhuǎn)角度：1mrad@150V

傳感器類型：SGS

閉/開環(huán)偏轉(zhuǎn)分辨率：1/0.1 μrad

閉/開環(huán)直線分辨率：2/0.2 nm

閉環(huán)線性度：0.25 %F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.2 %F.S.

空載諧振頻率：約250 Hz

空載閉環(huán)階躍時(shí)間：約25 ms

承載能力：500 g

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：660g

出線長：1.5 m

傳感/電壓連接器：DB15-HD（針）