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芯明天P17系列壓電掃描臺

更新時間: 2020-01-06

P17 系列

P17 系列壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可靠性壓電陶瓷,可以實現XY 軸187.5μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。

 

特點

• 位移187.5μm

• 承載能力1kg

• 通孔尺寸:60×60mm

• 閉環重復定位精度高

• 響應速度快

應用

 

• 圖像處理與穩定/掃描顯微

• 干涉/ 計量

• 表面檢測

• 晶圓定位/微操作

階躍時間

 

 

 

大行程 穩定性好 響應速度快

 

P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動快速、高精度掃描臺,可以實現XY軸187.5×187.5μm 的位移行程,優異的結構設計無摩擦、導向精度高、響應速度快、響應時間可達5毫秒。閉環版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01 系列閉環控制器配套使用,具有非常高的穩定性。臺體中心60×60mm 大通孔,適合工業自動化中的晶圓定位或微操作等應用。

應用實例

 

P17 系列壓電掃描臺適用于需要大行程高精度的應用,該產品已經成功應用于半導體測試、表面結構分析、顯微成像等領域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY 軸187.5μm 行程范圍的納米級精密定位。

技術參數

 

型號

S-閉環

K-開環

P17.XY200S

P17.XY200K

單位

運動自由度

X、Y

 

行程范圍(0~120V)

150/軸

μm

行程范圍(0~150V)

187.5/軸

μm

傳感器類型

SGS/-

 

通孔尺寸

60×60

mm

閉/開環分辨率

8/5

nm

閉環線性度

0.1/-

%F.S

閉環重復定位精度

0.05/-

%F.S

俯仰/偏航/滾動

<15

μrad

推/拉力

40/15

N

運動方向剛度

X0.2/Y0.2

N/μm

空載諧振頻率

X240/Y400

Hz

閉/開環空載階躍時間

30/5

ms

閉環空載

工作頻率

10%行程

50

Hz

行程

10

承載能力

1

kg

靜電容量

3.6/軸

μF

材質

鋼、鋁

 

重量

660

g

是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可靠性壓電陶瓷,可以實現XY 軸187.5μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。

特點

• 位移187.5μm

• 承載能力1kg

• 通孔尺寸:60×60mm

• 閉環重復定位精度高

• 響應速度快

應用

• 圖像處理與穩定/掃描顯微

• 干涉/ 計量

• 表面檢測

• 晶圓定位/微操作

階躍時間

大行程 穩定性好 響應速度快

P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動快速、高精度掃描臺,可以實現XY軸187.5×187.5μm 的位移行程,優異的結構設計無摩擦、導向精度高、響應速度快、響應時間可達5毫秒。閉環版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01 系列閉環控制器配套使用,具有非常高的穩定性。臺體中心60×60mm 大通孔,適合工業自動化中的晶圓定位或微操作等應用。

應用實例

P17 系列壓電掃描臺適用于需要大行程高精度的應用,該產品已經成功應用于半導體測試、表面結構分析、顯微成像等領域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY 軸187.5μm 行程范圍的納米級精密定位。

技術參數

 

型號

S-閉環

K-開環

P17.XY200S

P17.XY200K

單位

運動自由度

X、Y

 

行程范圍(0~120V)

150/軸

μm

行程范圍(0~150V)

187.5/軸

μm

傳感器類型

SGS/-

 

通孔尺寸

60×60

mm

閉/開環分辨率

8/5

nm

閉環線性度

0.1/-

%F.S

閉環重復定位精度

0.05/-

%F.S

俯仰/偏航/滾動

<15

μrad

推/拉力

40/15

N

運動方向剛度

X0.2/Y0.2

N/μm

空載諧振頻率

X240/Y400

Hz

閉/開環空載階躍時間

30/5

ms

閉環空載

工作頻率

10%行程

50

Hz

行程

10

承載能力

1

kg

靜電容量

3.6/軸

μF

材質

鋼、鋁

 

重量

660

g

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